PARKERUHP隔膜阀-手动或气动完整的产品说明

（真空至300 psig） - 930系列

       930 系列隔膜阀（1-1 / 8英寸的阀体尺寸）可用于各种手动操作和气动执行器操作。它拥有优异的可靠性，泄漏完整性和清洁度，使其在UHP半导体行业中成为理想的应用。

       930系列采用不与过程流体接触无螺纹或弹簧设计,可大限度地减少颗粒产生和截留,减少

半导体应用中的工艺污染。该系列阀门的严格设计,控制阀座和隔膜应力,以提供

稳定和免维护的使用寿命。930系列阀[门润湿部件由特种金属制成,提供的耐腐蚀性和

泄漏完整性。阀体是内部采用电抛光处理的Vericlean" 316L不锈钢材质。Vericlean" 是派克

的UHP级不锈钢。隔膜是高强度钴基合金材质。930系列还提供聚三 氟氯Z烯( PCTFE )，

聚醚醚酮树脂( PEEK⑧)和聚酰亚胺( Vespel⑧)材质的阀座，可使930阀门与多种工艺流

体相兼容。这些材料结合930系列严格的设计特点,给予了930系列产品在入口压力高达300

psig时的耐腐蚀性和更大循环使用寿命。

930系列气动阀可以配置限位开关或接近开关,用以提供开-关位置指示。还有多种阀体构造

可选,包括930Y系列( Y型阀)和SM930系列(面板安装)。

930系列阀门上内部(阀座)密封件和密封外的金属部件均通过质谱仪进行氦气泄露测试，

以适应在苛刻的UHP应用中, 保有其性能和稳定性。

市场:

半导体

分析实验室

●制药

， 生物制药

●航空航天

.工业

PARKERUHP隔膜阀特点与优势:

●电抛光表面光洁度: 5微英寸( Ra )

●高循环使用寿命(包括耐腐蚀性服务)

●内部无弹簧和无螺纹设计可大限度地减少颗粒产生和气体截留

●全压力范围使用:从真空到300 psig

●内部泄漏率:≤1x10-9scc/secHe

.外部泄漏率:≤2 x 10-10scc/ sec He

●AOP驱动,额定压力为75 psig

PARKERUHP隔膜阀应用:

腐蚀性气体和特种气体

半导体工具

工具连接

燃气柜.

阀组箱(VMB)