6点介绍INFICON电离真空计校准时需要注意的事项

电离真空计是基于在一定条件下，待测气体的压力与气体电离产生的离子流呈正比关系的原理制作的真空测量仪器。

由筒状收集极，栅网和位于栅网中心的灯丝构成，筒状收集极在栅网外面。热阴极发射电子电离气体分子，离子被收集极收集，根据收集的离子流大小来测量气体压强的真空计。

INFICON电离真空计的校准的注意事项

真空计按测量性质可分为绝对真空计和相对真空计。所谓绝对真空计就是通过测量物理量本身确定压力的一种真空计,例如u型压力计、压缩式真空计就是绝对真空计。通过测量与压力有关的物理量并与绝对真空计比较来确定压力的真空计称为相对真空计。我们校准的电离真空计、电容薄膜真空计、热传导真空计,都是相对真空计。

电离规管的结构为一个圆筒型三极管,它有三个电极:阴极f发射电子;栅极a加速电子,收集极c收集离子。一般阴极加零电位,栅极加正电位,收集极加负电位。它的优点主要是能够测量气体与蒸气的全压强;反应迅速,可连续读数和远距离控制;量程宽,线性好,测量精度较高。缺点主要是在压强高于10-1pa时,容易氧化灯丝,一旦系统突然暴露大气会烧坏规管;玻壳、电极的放气导致测量的误差。

校准电离真空计时,应注意以下六点:

（1）一般情况下,规管和系统连接时,先将未开封的规管和测量电路连接到一起试一下,检查规管是否正常,然后再接到系统。

（2）在校准的过程中,如果出现故障,在原因不明的情况下,拿一支未开封的规管试一下,判断是规管的问题,还是电路的问题。如果换上未开封的规管一切正常,说明原规管有问题;如果换上未开封的规管仍然不正常,说明电路有问题,这样就缩小了故障的范围。

（3）规管安装时应竖直安装,否则在加热除气,烘烤时栅极和阴极产生变形,相对位置变化,将会严重影响测量精度。

（4）在开灯丝前,判断被测真空系统中的真空度确信小于10-1pa时,才能开灯丝,否则真空度太低,导致规管阴极氧化而烧毁。

（5）在读数之前,应先调整好发射电流、零点及满度。具体步骤是:发射电流—零点—满度—发射电流。

（6）电离真空计只需要加电预热10分钟就可以校准了。

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